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牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统
OpAL系统是一种带有等离子体选项的直开式热原子层沉积(ALD)设备。 它可通过清晰而易行的途径升级为等离子体 ALD,这样便可在一个结构紧凑的设备上实现等离子体和热ALD。紧凑型直开式热原子层沉积
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PANDORA 多功能台式原子层沉积系统
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三维原子层沉积系统 ALD
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THEIA超快平面原子层沉积系统
THEIA 是一款高性能,稳定,灵活,可靠且安全的研发型原子层沉积系统,兼具工业生产解决方案的优势。THEIA 可进行升级改造,从而满足科学研究的各种需求,并实现从“研发”到“生产”的无缝衔接。
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PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统
P 系列是 Forge Nano 专为粉末 ALD 开发的研发级工具,可轻松实现 kg 的粉末包覆。使用流化床技术可保证粉末在反应器中的分散,有利于前驱体扩散。
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ForgeNano原子层沉积(ALD) 多功能台式原子层沉积系统
PANDORA 多功能台式原子层沉积系统是一种高效的研发工具,将粉末原子层沉积技术和平面原子层沉积薄膜技术结合在一起。该系统具有旋转式反应腔,可用于粉末样品的分散,同时也支持快速切换平面样品
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原子层沉积(ALD)ForgeNano 多功能台式原子层沉积系统
PANDORA 多功能台式原子层沉积系统,让很多人相信,潘多拉的魔盒里埋藏着尚未开发的宝物——希望!这台工具结合了粉末原子层沉积技术和平面原子层沉积薄膜技术,是独一无二的高效研发工具。使用者可以轻松
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PICOSUN原子层沉积设备ALD
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牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统 应用存储电容电介质
所谓的原子层沉积技术,是指通过将气相前驱体交替脉冲通入反应室并在沉积基体表面发生气固相化学吸附反应形成薄膜的一种方法。OpAL系统是一种带有等离子体选项的直开式热原子层沉积(ALD)设备。 它可
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牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统沉积系统
OpAL系统是一种直立式热原子层沉积(ALD)设备,配备等离子体选项。它能够简单地实现从热ALD升级到等离子体ALD,在一个紧凑的结构上实现等离子体和热ALD。紧凑型直立式热原子层沉积(ALD)设备
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